一些對空氣敏感、熱穩(wěn)定性較差的材料需要在真空、純凈的箱體環(huán)境中進行干燥處理,用于去除器件內(nèi)部基板表面的水或溶劑,或在特定溫度條件下對敏感材料進行干燥/固化,真空加熱系統(tǒng)是實現(xiàn)這些功能的最為經(jīng)濟有效的一款產(chǎn)品,最高溫度可達到180°C。
在對高精密光通信、激光器、傳感器器件進行同軸封裝或蝶形封裝時,不僅需要密閉的惰性氣體環(huán)境,同時還需要保持箱體內(nèi)的水氧含量小于5PPM,為了維持水氧含量穩(wěn)定保持在規(guī)定的數(shù)值區(qū)間,就需要加裝氣體純化系統(tǒng),該系統(tǒng)能將手套箱內(nèi)的氣體不間斷地循環(huán),然后經(jīng)過氣體凈化設(shè)備把手套箱體內(nèi)的水氧和有機溶劑雜質(zhì)除去。